CMU系列高精度三坐标测量机是天准生产的高端测量设备，采用独特的单边高架结构形式，具备性能稳定可靠、高效率、高精度等特点，可覆盖绝大多数触发及扫描复杂测量的应用场景。
①自主研发的软件、电控及探测系统，具有更好的适配性
②优化设计的主体结构和温度场分布，具有更好的精度稳定性和测量速度
③创新性地将直线电机技术运用到坐标测量机，其良好的运动特性有效保证了机器测量精度，又提高了测量效率
④关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料，移动桥在质量更轻的同时，具备更高刚性与更低温度线膨胀性能，极大 提高了精度与长期可靠性
⑤单边高架移动桥式设计，移动质量更轻，驱动更接近移动质心，减小阿贝误差，有效提高了运动性能与精度稳定性
⑥高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，具备气浮压力监测功能，有效确保稳定性
⑦三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺，对温度变化不敏感，有效提高整机的精度
⑧Z轴采用平衡气缸气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全
